电子级氯化氢产品生产装置于2003年投产,经北京市科委鉴定,国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,产品性能指标突出。主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造。
电子级氯化氢气体的化学反应
干燥氯化氢的化学性质很不活泼。碱金属和碱土金属在氯化氢中可燃烧,钠燃烧时发出亮黄色的火焰:
2Na+2HCl─→2NaCl+H2
但锌、镁、铁等较活泼的金属以及大多数金属氧化物都不能与干燥的氯化氢作用。干燥氯化氢具有一定的还原性,如氧气在加热时可把它氧化:
湿的氯化氢气体的化学性质却相当活泼,能与上述金属及氧化物发生反应。工业上是用氢与氯在 250℃直接化合以制取氯化氢;它也是烃类氯化的副产品:
CnH2n+1+Cl2─→CnH2n+1Cl+HCl
实验室制法是用浓硫酸与氯化钠作用:
NaCl+H2SO4─→NaHSO4+HCl
NaHSO4+NaCl─→Na2SO4+HCl